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聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)組成
聲外表波濾波器就是在壓電基片資料外表產(chǎn)生和傳播、且振幅隨深化基片資料的深度增加而疾速減少的彈性波。它采用半導(dǎo)體集成電路的平面工藝,在壓電基片外表蒸鍍一定厚度的鋁膜,把設(shè)計(jì)好的兩個(gè)IDT的掩膜圖案,應(yīng)用光刻辦法堆積在基片外表,分別作為輸入換能器和輸出換能器。其工作原理是輸入換能器將電信號(hào)變成聲信號(hào),沿晶體外表傳播,輸出換能器再將接納到的聲信號(hào)變成電信號(hào)輸出。
聲外表波濾波器濾波器的根本構(gòu)造是在具有壓電特性的基片資料拋光面上制造兩個(gè)聲電換能器——叉指換能器(IDT),當(dāng)給聲外表濾波器輸大端輸入信號(hào)后,在電極司壓電資料外表將產(chǎn)生和外加信號(hào)頻率相同的機(jī)械振動(dòng)波。該振動(dòng)波以聲波速度在壓電基片外表傳播,當(dāng)該波傳至輸出端時(shí),由輸出端梳狀電極構(gòu)成的換能器將聲能轉(zhuǎn)換成交變電信號(hào)輸出。
由此可知聲外表波濾波器是由兩個(gè)換能器組成的,輸入端換能器將電能轉(zhuǎn)換成聲能發(fā)出聲外表波,而輸出端換能器則是將接納到的聲外表波聲能轉(zhuǎn)換成電能輸出。聲外表波濾波器就是應(yīng)用壓電基片上的這兩個(gè)換能器來產(chǎn)生聲外表波和檢出聲外表波的,以完成濾波的作用。
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